乔大勇

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基本信息 The basic information

乔大勇

机电学院

博士研究生毕业

工学博士

教授

机械工程

dyqiao@nwpu.edu.cn

029-88460574

荣誉获奖 Awards Information


[1] 微机电系统的泛结构化设计方法与技术,国务院,国家技术发明二等奖,2011年

[2] **集成设计平台,国防科工委,国防科学技术奖,二等奖,2004年

[3] **通用方法与技术,国防科工委,国防科学技术奖,二等奖,2005年

[4] “微机械与微细加工技术”及其相关理论与方法研究,陕西省科技厅,陕西省科学技术奖,三等奖,2005

科学研究 Scientific Research

主要研究方向:

1)主动微光学器件

主要研究基于微扫描镜的激光投影在抬头显示器(HUD),血管显像,便携式投影仪领域的应用,和基于微扫描式光栅和可编程光栅在便携式光谱仪和光谱成像领域的应用

2)先进MEMS封装

主要研究使用吸气剂的高气密性真空封装的工艺技术,寿命模型和加速老化模型,可为高性能微陀螺,谐振式压力传感器和非制冷红外焦平面阵列提供可靠封装方案

3)片上能源技术

主要研究基于环境能获取,辐射伏特和光生伏特等原理的片上能源获取、存储和使用技术,可以为植入式、预埋式或广布式微系统提供自发电的片上集成能源 

学术成果 Academic Achievements

发表论文:

  1. changfeng xia, dayong qiao, qi zeng, weizheng yuan, the squeeze-film air damping of cirular and elliptical micro-torsion mirrors, microfluid nanofluid, doi 10.1007/s10404-015-1585-1,2015. if 2.665 二区 ei: 20151800812762

  2. 乔大勇,杨璇,夏长锋,曾琪,潘春晖,练彬等. 梳齿分布结构对静电驱动二维微扫描镜机械转角的影响.传感技术学报,2014,272):172177

  3. 乔大勇,史龙飞,曹兰玉,练彬. mems扫描镜温度可靠性测试.传感器与微系统,2014,3312):146148

  4. qiao da-yong, kang bao-peng, liu yao-bo, a resonance scanning grating based on soi for microspectrometer application, laser physics, 2013, 23(3): 035601, sci: 000318005700022 if: 3.605

  5. 孙晋川,乔大勇,任森,邓进军,孔结构对水平振动谐振器空气阻尼的比较分析,传感器与微系统,201332(9):46-49

  6. 乔大勇,吴蒙,李昭,基于二维扫描镜的平视显示系统研究,航空工程进展,2013,4(4):469-473

  7. da-yong qiao, xiao-pei zheng, determination of residual stress in deep submicron thick films by the critical buckling technique of annular thin plates. microsystem technologies. 2012, 18(3): 277-282. sci: 000300589500005, ei: 20122215074629 影响因子:1.069

  8. 乔大勇,郑晓沛,测量深亚微米薄膜内微小残余应力的测试圆环结构,功能材料,20124310):1263-1267, ei: 20122915259852

  9. da-yong qiao, xue-jiao chen, yong ren and wei-zheng yuan, a nuclear micro battery based on sic schottky barrier diode, journal of mems, 2011, 20 (3):685-690. doi: 10.1109/jmems.2011.2127448. ut isi:000291316000018 ei: 20112314042561 影响因子:2.157 被引频次:7

  10. 乔大勇,苑伟政,基片摆动对磁控溅射膜厚均匀性的影响研究,航空精密制造技术,201046(6): 6-8.

  11. 乔大勇,刘耀波,王松洁,程步清,苑伟政,基于微机电系统技术的分立式微变形镜,航空精密制造技术,2010, 46(4): 6-12.

  12. 乔大勇, 陈雪娇, 任勇, 藏博, 苑伟政, 一种基于pin结的硅基微型核电池研究, 物理学报, 2011,60(2):020701 ut isi: 000287947000023. 影响因子:1.259被引频次 3

  13. da-yong qiao, song-jie wang and wei-zheng yuan, a continuous-membrane micro deformable mirror based on anodic bonding of soi to glass wafer, microsystem technologies, 2010, 16(10): 1765-1769, 影响因子:1.069ut isi:000281734000013 ei: 20104613382556影响因子:1.069被引频次:1

  14. 郭辉,王月胡,张玉明,乔大勇,张义门,formation of the intermediate semiconductor layer for the ohmic contact to silicon carbide using germanium implantationchinese physics b, 2009, 18(10):4470-4473 sci:000270300600061 ei:20094512422273

  15. 乔大勇, 苑伟政, 田力, 基于绝缘体上硅的连续薄膜式微变形镜工艺, 中国激光, 36,200978-82. ei: 20100912741047

  16. qiao da-yong, yuan wei-zheng, gao peng, yao xian-wang, zang bo, zhang lin, guo hui, zhang hong-jian, demonstration of a 4h sic betavoltaic nuclear battery based on schottky barrier diode, chin phys lett, 2008, 25(10): 3798-3800. ut isi:000259736600076  影响因子: 1.077被引频次11

  17. da-yong qiao, wei-zheng yuan, yi-ting yu, qing liang, zhi-bo ma, xiao-ying li, the residual stress induced buckling of annular thin plates and its application in residual stress measurement of thin films, sensors & actuators: a, 2008, 143(2): 409-414. doi (10.1016/j.sna.2007.11.028), (ut isi:000255453400030 ei: 081411185264 2011sci影响因子: 1.933). 被引频次1

  18. qiao dayong, yuan weizheng, li xiaoying, a two-beam method for extending the working range of electrostatic parallel-plate micro actuators, journal of electrostatics, 2007, 65(4): 256-263 (ut isi:000245603400009 ei: 070310367663 2007sci影响因子: 1.078) 被引频次9

专利:

[1]      李晓莹,李光涛,乔大勇,任森,张艳飞,康宝鹏,一种深沟道隔离槽的制备方法,授权日:2014312日,中国,zl201110347244.3

[2]      乔大勇,史龙飞,刘耀波,康宝鹏,杨璇,梁晓伟,夏长峰,用于沟道填充的新型沟道隔离槽,授权日:20141210日,中国,zl201210118164.5

[3]      乔大勇,夏长锋,刘耀波,李昭,梁小伟,基于利萨如图扫描方式的投影显示方法,授权日:2014820日,中国,zl201210129821.6

[4]      乔大勇,杨璇,刘耀波,康宝鹏,燕斌,一种基于soi硅片的窄沟道隔离槽刻蚀至氧化层的检测结构及检测方法,授权日:20141210日,中国,zl201210096211.0

[5]      乔大勇,王玉朝,任森,苑伟政,袁广民,李小卿,一种用于微机械谐振结构的闭环驱动电路,zl201010191597.4,授权日:2012-05-23

[6]      乔大勇 苑伟政 高鹏 姚贤旺 臧博 吕湘连,碳化硅肖特基结式核电池及其制作方法,zl200810150069.7,授权日:2011817

[7]      乔大勇,苑伟政,田力,李晓莹,燕斌,基于soi的连续薄膜式微变形镜及其制备方法,zl200810236477.4,授权日:2011720

[8]      乔大勇,孙瑞康,靳倩,李晓莹,燕彬,一种基于soi晶圆双掩膜刻蚀的垂直梳齿驱动微扭转镜及其制作方法,zl201010217116.2,授权日:20111116

[9]      乔大勇,苑伟政,藏博,姚贤旺,吕湘连,具有保护环结构的微型核电池及其制作方法,zl200910023134.4,授权日:20111005

[10]  乔大勇,苑伟政,藏博,姚贤旺,吕湘连,具有保护环结构的肖特基结核电池及其制作方法,zl200910023133.x,授权日:20111102

[11]  乔大勇,苑伟政,马志波,微型纵向驱动器,zl200610041616.9,授权日:20091118

[12]  乔大勇,苑伟政,田力,李晓莹,燕斌,基于soi的连续薄膜式微变形镜及其制备方法,zl200810236477.4,授权日:2011-07-20

[13]  李晓莹,孙瑞康,乔大勇,燕斌,虞益挺,李太平,基于soi晶圆的mems结构制作及划片方法,zl200910219285.7,授权日:2011-08-24

[14]  苑伟政 虞益挺 乔大勇 孙瑞康 燕斌,一种周期可调微机械光栅及其制作工艺, zl200910021322.3,授权日:20110302

[15]  苑伟政,乔大勇,虞益挺,一种微型平板静电驱动器及其制作方法,zl200510042712.0, 授权日:20070509

[16]  苑伟政,乔大勇,孙磊,微电池及其制作方法,zl200510096228.6,授权日:20080827

[17]  苑伟政,虞益挺,乔大勇,微机械变压器及其制作方法,zl200910022029.9,申请日:2009.4.15,授权日:2011.3.16

[18]  任森 苑伟政 乔大勇 王玉朝 吕湘连,基于滑膜差动结构的硅谐振式压力传感器及其制作方法,专利号:zl200910023322.7,申请日:2009-07-14 ,授权日:2011-01-19

[19]  苑伟政,虞益挺,乔大勇,薄膜残余应力测量结构及其制作和测试方法,专利号:zl200710017231.3,授权日:2010-02-10

[20]  李晓莹,靳倩,孙瑞康,乔大勇,燕斌,一种微机械空间光调制器,zl201010500828.5 ,授权日:2012-01-18

[21]  苑伟政,虞益挺,乔大勇,燕 斌,李晓莹,一种利用光栅检测技术进行加速度测量的装置和方法,zl200910020955.2,授权日:2011-07-20