马志波


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基本信息 The basic information

马志波

机电学院

博士研究生毕业

工学博士

副研究员(自然科学)

zbma@nwpu.edu.cn

029-88460384

科学研究 Scientific Research

主要从事微/纳制造工艺,微光学和微压力传感器等器件制造技术研究。主持国防973子课题、国家自然科学基金面上项目、航空科学基金、西北工业大学基础研究基金等科研项目

主持和承担的主要项目有:

[1] 超高深宽比仿生纳米纤毛阵列研究(51475384),国家自然科学基金面上项目2015.1~2018.12

[2] 气动减阻微纳复合功能结构(51375398),国家自然科学基金面上项目2014.1~2017.12排名第二。

[3] 硅-玻璃键合片单晶硅层研抛减薄工艺研究,航空科学基金2012.10~2014.10

[4] 纳米纤毛阵列的微振动高灵敏度光衍射检测方法研究,西北工业大学基础研究基金2013.1~2014.12

[5] 微机电系统光学器件的工艺技术优化,上海鸿辉光通讯科技股份有限公司,2010.6~2015.6

[6] 深硅刻蚀工艺技术优化合作,中国工程物理研究院激光聚变研究中心2011.3~2013.12

 

学术成果 Academic Achievements

代表性研究论文包括:

[1] Zhibo Ma, Chengyu Jiang, Xiangming Li, Fang Ye and Weizheng Yuan. Controllable fabrication of periodic arrays of high-aspect-ratio micro-nano hierarchical structures and their superhydrophobicity. J. Micromech. Microeng., 2013, 23, 095027. (SCI: 000323814100028; EI: 20134116823304).

[2] Zhibo Ma, Chengyu Jiang, Weizheng Yuan, Yang He. Large-Scale patterning of Hydrophobic Silicon Nanostructure Arrays Fabricated by Dual Lithography and Deep Reactive Ion Etching, Nano-Micro Lett., 2013, 5(1), 7-12. (SCI: 000322567000002).

[3] Zhibo Ma, Chengyu Jiang, Weizheng Yuan. A triple-layer protection process for high-aspect-ratio silicon micronachining by DRIE OF SOI substrates. J. Micromech. Microeng., 2012, 22, 055028. (SCI000303197000028EI20121914995796).

[4] Zhibo Ma, Chengyu Jiang, Weizheng Yuan. Investigation on Silicon Removal in Chemical Mechanical Polishing of SOG Wafers and its Applications. Proceedings of the 13th euspen International Conference, Berlin, 2013.

[5] 马志波, 姜澄宇, 任森, 苑伟政. 基于SOI 的硅微谐振式压力传感器芯片制作. 传感技术学报, 2012, 25(2): 180-183.

[6] Zhibo Ma, Sen Ren, Dayong Qiao, Weizheng Yuan Fabrication of a Novel Resonant Pressure Sensor Based on SOI Wafer. 2nd Integration & Commercialization of Micro & Nanosystems International Conference & Exhibition. Clear Water Bay, Kowloon, Hong Kong, June 3-5, 2008.

[7] 马志波, 乔大勇, 虞益挺, 苑伟政, 姜澄宇, 一种新型CCD图像采集系统设计. 传感技术学报, 2006, 19(4): 1250-1252.

[8] 马志波, 乔大勇, 苑伟政, 姜澄宇,MEMS微结构粘附问题研究. 航空精密制造技术, 2006, 42(6): 9-11.

 授权发明专利包括:

[1] 马志波,姜澄宇,苑伟政,一种高深宽比微纳复合结构制造方法,ZL. 201210169057.5

[2] 马志波,姜澄宇,苑伟政,高占空比自支撑纳米透射光栅及其制作方法,ZL.201110190019.3

[3] 苑伟政,马志波,乔大勇,任森,吕湘连,一种高悬浮空间MEMS可动器件的制作方法,ZL. 200710083866.3

[4] 苑伟政,乔大勇,马志波,吕湘连,微型纵向驱动器,ZL. 200610041616.9

[5] 苑伟政,乔大勇,虞益挺,马志波,一种微型平板静电驱动器及其制作方法,ZL. 200510042712.0

 

荣誉获奖 Awards Information

获得机械工程学会技术发明一等奖一项,国防科学技术二等奖1项:

[1] 柔性微纳结构制造技术及其应用,中国机械工业科学技术发明一等奖2014年,排名第五。

[2] 聚合物基柔性微结构***, 国防科学技术发明二等奖2012年,排名第五。