谢建兵


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基本信息 The basic information

谢建兵

机电学院

博士研究生毕业

博士

副教授

机械工程

xiejb@nwpu.edu.cn

13609261159

科学研究 Scientific Research

主要研究方向为微机电系统(mems)惯性传感器及MEMS制造技术;

主持国家自然科学基金面上项目1项、青年基金1项主持国家863计划项目2项,主持西安市科技计划项目1项;

     1、国家自然科学基金青年基金,硅-玻璃-硅三层键合的微玻璃球壳谐振器制造方法研究,25万元;

     2、国家自然科学基金面上项目,环间嵌入电极的多环谐振式微机械陀螺关键技术研究,60万元;

作为第二起草人制定《硅基MEMS制造技术:基于SOI硅片的MEMS工艺规范》国家标准1项;

发表论文30余篇;

申请国家发明专利39项,已授权21项;

出版专著《MEMS集成设计技术及应用》1部。

学术成果 Academic Achievements

1. Jianbing Xie *, Lei Chen, Hui Xie, Jinqiu Zhou and Guangcheng Liu. The Application of Chemical Foaming Method in the Fabrication of Micro Glass Hemisphere Resonator, Micromachines, 2018, 9(2), 1-11(SCI, EI)

2. Jianbing Xie, Qiang Shen, Yongcun Hao, Honglong Chang, Weizheng Yuan, Design, fabrication and characterization of a low-noise z-axis micromachined gyroscope, Microsystem Technologies, 2015, 21, 625-630 (SCI, EI)

3. Jianbing Xie, Yongcun Hao, Qiang Shen, Honglong Chang,  Weizheng Yuan, A dicing-free soi process for mems devices based on the lag effect, Journal of Micromechanics and Microengineering, 23 (2013) 125033, doi:10.1088/0960-1317/23/12/125033(SCI, EI)

4. Jianbing Xie, Weizheng Yuan, Honglong Chang, Design and fabrication of mems gyroscopes on the soi substrate with decoupled oscillation modes, Chinese journal of mechanical engineering, vol 23. 2010(1). pp. 16-20. (SCI, EI)

5. Jianbing Xie, Yongcun Hao, Honglong Chang, Weizheng Yuan, Single mask selective release process for complex soi mems device, Key engineering materials, vol.562, pp1116-1121, 2013(SCI, EI)

6. Xie Jianbing, Song Meng, Yuan Weizheng , A high sensitivity micromachined accelerometer with an enhanced inertial mass soi mems process, proceedings of 8th ieee international conference on nano/micro engineered and molecular systems (nems), pp336-339, suzhou, china, 2013.04.07-10 (EI)

7. Jianbing XieWeizheng YuanHonglong ChangThe application of notching effect in one-step dry etch and release process for the fabrication of memsNanotechnology and precision engineering,vol 8. 2010(2). pp. 167-170. (EI)

 

荣誉获奖 Awards Information

2017年,陕西省科学技术一等奖,高精度硅微机械陀螺及其工程化技术

2016年,教育部技术发明二等奖,特种MEMS制造技术及其应用;

2009年,陕西省科学技术一等奖,MEMS集成设计工具技术及应用;

2008年,中国机械工业科学技术一等奖,任意流程的微机电系统设计工具技术及应用;

陕西省“三秦人才津贴”。 


社会兼职 Social Appointments

IEEE会员;

中国微米纳米技术学会高级会员,微纳传感技术分会理事;

中国机械工程学会高级会员;

全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC336)观察员;

iCAN中国联盟理事会理事。

招生信息 Admission Information

欢迎来自电子信息、自动控制、微机电系统、机械电子等专业的学生报考。